场发射扫描电子显微镜      美国FEI公司Nova NanoSEM 450

【仪器介绍】

该仪器可实现样品的微观形貌观察、微区能谱成分分析、线分布、面分布分析及晶体样品的晶粒取向和取向关系等分析；配备的背散射探头可获得样品的成分衬度图片；配备的低真空探头可对不导电样品进行形貌及成分分析，而不需要进行喷金处理。

【性能参数】

l 超高分辨率Schottky肖特基场发射电子枪 

l 高真空模式分辨率：1nm ( 15KV)，1.4 nm (1KV)

l 低真空模式分辨率：1.5nm（10kV)，1.8nm（3kV)

l 标样放大倍数：20倍～100万倍

l 加速电压：50V - 30kV，连续可调

l 电子束流范围 0.6pA -200nA, 连续可调 

l 探测器：二次电子探测器（ETD、TLD）；背散射探测器（CBS）；低真空探测器（LVD）；IR-CCD相机；导航相机Nav-Cam

l 五轴马达驱动；移动最大距离：X=Y=110mm,Z=25mm；体旋转最大角度：T=90°；平面旋转R=360°，重复精度<2μm

l EDAX能谱能量分辨率129eV，成分范围Be4~U92 

【功能用途】

广泛应用于物理、化学、生物、地学、矿物、金属、半导体、陶瓷、高分子、复合材料、纳米材料等领域的研究和产品检验。

测试员姓名：李雷

邮箱：lilei1634@sina.com

联系方式：136-1926-5252